| 发明名称 | 具有微型机电系统传感器的设备及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种微型机电系统(MEMS)电容式传感器(52)包括可绕其末端(80、84)之间的旋转轴(68)偏移进行枢转的活动元件(56)。静态导电层(58)与活动元件(56)间隔开并包括电极元件(62、64)。活动元件(56)包括表现出长度(78)的旋转轴(68)与一个末端(80)之间的区段(74)。活动元件(56)还包括表现出比区段(74)的长度(78)小的长度(82)的旋转轴(68)与另一末端(84)之间的区段(76)。区段(74)包括通过活动元件(56)从末端(80)朝着旋转轴(68)延伸的槽缝(88)。槽缝(88)提供补偿封装应力以改善传感器性能的区段(74)中的应力消除。 | ||
| 申请公布号 | CN102046514B | 申请公布日期 | 2013.03.27 |
| 申请号 | CN200980119818.2 | 申请日期 | 2009.03.11 |
| 申请人 | 飞思卡尔半导体公司 | 发明人 | 林毅桢;A·C·迈克奈尔 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01L29/84(2006.01)I;B81B5/00(2006.01)I;G01P15/125(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 秦晨 |
| 主权项 | 一种具有微型机电系统传感器的设备，包括：微型机电系统传感器，所述传感器包括：活动元件，所述活动元件适合于相对于在其第一末端和第二末端之间偏移的旋转轴运动而形成所述旋转轴与所述第一末端之间的第一区段和所述旋转轴与所述第二末端之间的第二区段，所述第一区段表现出在所述旋转轴与所述第一末端之间的第一长度，该第一长度大于所述旋转轴与所述第二末端之间的第二长度，所述第一区段包括延伸通过所述活动元件的槽缝；以及与所述活动元件间隔开的静态导电层，所述静态导电层包括第一电极元件和第二电极元件，所述第一电极元件面对所述第一区段且所述第二电极元件面对所述活动元件的所述第二区段。 | ||
| 地址 | 美国得克萨斯 | ||