检测传感器、振子

摘要

本发明的目的是提供能够实现高灵敏度化的检测传感器和振子。采用不在振子(30)表面上设置压电层或驱动电极等、由与振子(30)分开设置的致动器(40)来驱动振子(30)的方式。致动器(40)为悬臂状，设于振子(30)的固定端(30a)附近。而且，经由连接梁(70)将致动器(40)的振动传递到振子(30)。由此，可抑制压电层或驱动电极等对振子(30)振动的妨碍，从而能够提高振子(30)的Q值，能够使检测传感器(10)成为更高灵敏度的检测传感器。并且，如果是同等的灵敏度，则能够实现大大小于现有检测传感器的小型检测传感器(10)。

主权项

一种检测传感器，其特征在于，该检测传感器具有：振子，其为一端部固定的梁状，并且振动特性根据具有质量的物质的附着或吸附而发生变化；致动器，其设于所述振子附近，按照所设定的振动特性进行振动；连接部件，其连接所述致动器和所述振子，并通过将所述致动器的振动传递到所述振子来使所述振子振动；以及检测部，其通过检测所述振子的振动变化来检测所述物质；其中，所述振子和所述致动器分开设置；所述致动器具有：梁状的致动器主体，其一端部固定；由压电材料构成的压电层，其设于所述致动器主体的表面，以使所述致动器主体产生振动；以及驱动电极，其设于所述致动器主体的表面，对所述压电层施加电压。