一种洁净微环境

摘要

本实用新型公开了一种洁净微环境，包括一洁净空间，洁净空间的顶部设有气相过滤器和风机；洁净空间的侧面设有工作台，工作台和洁净空间之间设有工作台出气口；所述洁净空间的一侧设有一循环空间，循环空间和洁净空间之间设有气体通道，循环空间的出气口与所述气相过滤器连通，使洁净空间、循环空间和气相过滤器构成一空气循环系统；所述洁净空间的底部为封闭系统。本实用新型利用了一部分从洁净空间里出来的过滤后气体作为气源，而这部分过滤后气体由于具有较低的杂质含量，从而降低了气相过滤器的工作负荷，有利于气相过滤器的长期使用。

主权项

一种洁净微环境，包括一洁净空间(1)，洁净空间的顶部设有气相过滤器(2)和风机(3)；洁净空间的侧面设有工作台(4)，工作台和洁净空间之间设有工作台出气口；其特征在于：所述洁净空间的一侧设有一循环空间(5)，循环空间和洁净空间之间设有气体通道(6)，循环空间的出气口与所述气相过滤器连通，使洁净空间、循环空间和气相过滤器构成一空气循环系统；所述洁净空间的底部为封闭系统。