| 发明名称 | 包含多酰胺组分的光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 包含多酰胺组分的光致抗蚀剂。提供了一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：(a)一种或多种树脂；(b)一种或多种光致产酸剂化合物；和(c)一种或多种下式所示的多酰胺化合物：其中R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>独立选自H、(C<sub>1</sub>-C<sub>30</sub>)烷基、和酰胺取代(C<sub>1</sub>-C<sub>30</sub>)烷基；R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>，或R<sup>1</sup>和R<sup>3</sup>或R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>可与连接其上的原子一起形成5到12元杂环；和L是在羰基之间提供3到8个原子间隔的连接基团；其中多酰胺化合物没有羟基。<img file="DSA00000810013200011.GIF" wi="758" he="389" /> | ||
| 申请公布号 | CN102998904A | 申请公布日期 | 2013.03.27 |
| 申请号 | CN201210478565.1 | 申请日期 | 2012.09.10 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | G·P·普罗科普维茨;G·珀勒斯;刘聪;C·吴;C-B·徐;吴俊锡 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 1.一种光致抗蚀剂组合物，所述组合物包括：(a)一种或多种树脂；(b)一种或多种光致产酸剂化合物；和(c)一种或多种下式所示的多酰胺化合物：<img file="FSA00000810013300011.GIF" wi="757" he="346" />其中R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>独立选自H、(C<sub>1</sub>-C<sub>30</sub>)烷基、和酰胺取代(C<sub>1</sub>-C<sub>30</sub>)烷基；R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>，或R<sup>1</sup>和R<sup>3</sup>或R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>可与连接其上的原子一起形成5到12元杂环；和L是在羰基之间提供3到8个原子间隔的连接基团；其中多酰胺化合物没有羟基。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||