| 摘要 |
本发明系一种高分子化合物，其中下述式(1)~(6)之重复单位之含量为(1)1~60莫耳%，(2)1~60莫耳%，(3)1~50莫耳%，(4)0~60莫耳%，(5)0~30莫耳%，(6)0~30莫耳%，重量平均分子量3,000~30,000，分散度1.5~2.5。;(1) (2) (3) (4) (5) (6);(式中R1、R3、R4、R7、R9、R11系H或CH3。Y为伸甲基或O，Y为伸甲基时，R2为CO2R10。Y为O时，R2为H或CO2R10。R10为C1~15之烷基或烷基中被插入O的基。R5、R6系H或OH。R8系3级酯型酸分解性保护基。R12系含有H之氟烷基。R12可被含氧之官能基取代，及/或碳-碳键间可夹着O)。;含有以本发明之高分子化合物为基底树脂之光阻材料系具有高解像度，改善线粗糙度及I/G偏离(bias)。 |
