| 摘要 |
Es wird eine zusammengesetzte Ladungsteilchenstrahlvorrichtung bereitgestellt, die umfasst: eine Ionenfeinstrahl-Säule (4), eine Elektronenstrahl-Säule (6) orthogonal zu der Ionenfeinstrahl-Säule (4); einen Probentisch (2) zum Bewegen einer Probe (11); ein Lichtmikroskop (14) zum Beobachten der Probe (11); ein Sichtanzeigeteil (12, 13), das imstande ist, ein Ionenfeinstrahlbild, ein Elektronenstrahlbild und ein Lichtmikroskopbild darzustellen, und einen Tischsteuerteil (3) zum Bewegen des Probentisches (2) in Übereinstimmung mit einem Koordinatensystem jedes Bildes. |
