Beleuchtungsvorrichtung, Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren für die optische Prüfung eines Objekts

摘要

Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsvorrichtung für die optische Prüfung eines Objekts, mit folgenden Merkmalen: – die Beleuchtungsvorrichtung umfasst eine Mehrzahl von Beleuchtungselementen; – mittels eines Beleuchtungselements wird Licht auf zumindest einen Teil des Objekts gerichtet, so dass von dem Objekt gestreutes oder transmittiertes oder reflektiertes Licht von einem Detektor erfassbar ist; – die Funktion eines Beleuchtungselements ist durch eine Farbe und mehrere Strahlungsmodi der von dem Beleuchtungselement ausgestrahlten Strahlung charakterisiert; – die Beleuchtungselemente unterscheiden sich jeweils voneinander durch die Farbe und mindestens einen der Strahlungsmodi.