Verwendung einer Ätzlösung aufweisend Wasser, Salpetersäure und Schwefelsäure und Ätzverfahren

摘要

Verwendung einer Ätzlösung (1) aufweisend Wasser, 15 bis 40 Gewichtsprozent Salpetersäure, 10 bis 41 Gewichtsprozent Schwefelsäure und 0,8 bis 2,0 Gewichtsprozent Flusssäure zum wenigstens teilweisen Überätzen von zumindest teilweise eine Oberflächenstrukturierung (5) aufweisenden Siliziumscheiben (3).