一种晶体预热装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体预热装置，涉及半导体材料加工领域，解决了现有预热装置操作不便、运动速度不够快、易出现重大损失的问题。晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元和驱动装置，加热单元与驱动装置的连接杆固定连接，驱动装置固定在区熔炉的炉膛法兰外侧，且连接杆穿过炉膛法兰，驱动装置通过连接杆驱动加热单元。

主权项

一种晶体预热装置，用于对区熔炉内的晶体进行预加热，包括加热单元，其特征在于，还包括驱动装置，所述加热单元与所述驱动装置的连接杆固定连接；所述驱动装置固定在所述区熔炉的炉膛法兰外侧，且所述连接杆穿过所述炉膛法兰；所述驱动装置通过所述连接杆驱动所述加热单元。