一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置

摘要

本实用新型公开了一种湿法除尘装置，特别是一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置，属于多晶硅生产技术领域，本实用新型的三氯氢硅合成气湿法除尘装置包括塔体、冷凝器和再沸器，所述冷凝器的回流管道设置有回流槽和回流泵，通过所述回流槽和回流泵为塔体建立稳定的回流，保证回流管道的流量稳定，本除尘装置操作稳定，易于控制，使得洗涤效果大大加强，能有效的除去合成气中固体杂质及高聚物，降低因冷凝器及管线堵塞停车检修的频率，保证装置长周期运行，为产品产量及质量提供了保障。

主权项

一种三氯氢硅合成气湿法除尘装置，包括塔体（1）、塔底的再沸器（2）和塔顶的冷凝器（3），其特征在于：所述冷凝器（3）至塔体（1）的回流管道（4）上，设置有回流槽（5）和回流泵（7），且所述回流泵（7）位于回流槽（5）的出口。