| 发明名称 | 检测方法及检测装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于阵列基板的检测方法和检测装置，其中，检测方法包括步骤：扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率；采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。本发明通过对扫描到的缺陷尺寸进行分析，根据缺陷尺寸切换拍摄镜头，使切换后的镜头能够拍摄到清晰、完整的缺陷图片，有利于对缺陷类型进行分析，有效提升了对缺陷的分析准确率。 | ||
| 申请公布号 | CN102980897A | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN201210528167.6 | 申请日期 | 2012.12.10 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 林勇佑 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人 | 胡海国 |
| 主权项 | 一种检测方法，用于检测阵列基板，其特征在于，包括步骤：扫描阵列基板的缺陷，确定所述缺陷的尺寸；根据所述缺陷的尺寸，生成切换控制指令，将镜头切换至与所述缺陷尺寸相适应的放大倍率；采用切换后的所述镜头拍摄所述缺陷。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号 | ||