微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构

摘要

本发明公开了一种微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构，包括衬底、n个梁，下拉电极、呈阶梯形的第一衬底接触电极、n个衬底接触电极和拉动电极；每个梁均由横梁和扭转支撑梁组成；扭转支撑梁通过锚区连接在衬底上；下拉电极、第一衬底接触电极、n个衬底接触电极和拉动电极连接在衬底顶面，且拉动电极位于n个梁一测的下方，下拉电极和第一衬底接触电极位于n个梁另一侧的下方，n个梁下方对应的第一衬底接触电极的长度呈阶梯变化，每个梁的下方对应设置一个衬底接触电极，且各衬底接触电极靠近第一衬底接触电极。该测量结构能够获取微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力，且测量结果准确。

主权项

一种微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底（1）、n个具有相同尺寸和材料的十字梁，用于静电激励的下拉电极（6）、呈阶梯形的第一衬底接触电极（9）、n个衬底接触电极和促使粘附分离的拉动电极（7），n为大于等于2的整数；每个十字梁均由横梁和与横梁垂直交叉连接的扭转支撑梁组成，所有横梁相互平行，且处于悬空状态；扭转支撑梁通过锚区连接在衬底（1）上，且所有扭转支撑梁位于同一直线上；下拉电极（6）、第一衬底接触电极（9）、n个衬底接触电极和拉动电极（7）连接在衬底（1）顶面，且拉动电极（7）位于n个十字梁一测的下方，下拉电极（6）和第一衬底接触电极（9）位于n个十字梁另一侧的下方，且第一衬底接触电极（9）位于十字梁端部下方，n个十字梁下方对应的第一衬底接触电极（9）的长度呈阶梯变化，每个十字梁的下方对应设置一个衬底接触电极，且各衬底接触电极靠近第一衬底接触电极（9）。