| 发明名称 | 一种声表面波滤波器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种低损耗滤波器，包括衬底、沉积于所述衬底上的压电薄膜、位于所述压电薄膜上的输入叉指换能器与输出叉指换能器，其中所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为3.5～5.5％，Nb的原子百分数为2.5～6.0％，Mn的原子百分数为2.0～4.5％。其机电耦合系数高，插入损耗低，工作效率高，是一种可以大量工业化使用的高频滤波器。 | ||
| 申请公布号 | CN102983833A | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN201210473603.4 | 申请日期 | 2012.11.20 |
| 申请人 | 溧阳市生产力促进中心 | 发明人 | 梅欣;张俊 |
| 分类号 | H03H9/64(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;H03H3/08(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/64(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人 | 查俊奎 |
| 主权项 | 一种声表面波滤波器，包括衬底、沉积于所述衬底上的压电薄膜、位于所述压电薄膜上的输入叉指换能器与输出叉指换能器，其特征在于，所述压电薄膜为掺杂Ti、Nb和Mn的ZnO压电薄膜，其中，Ti的原子百分数为0.5～3.5％，Nb的原子百分数为2.5～6.0％，Mn的原子百分数为2.0～4.5％。 | ||
| 地址 | 213300 江苏省常州市溧阳市东大街182号 | ||