具有气密轴杆贯通部的真空阀

摘要

本发明涉及一种真空阀(1)，该真空阀用于中断、释放或控制真空阀(1)的内部(3)中的流动介质。联接到阀驱动装置(5)的轴杆(6)从大气区域(4)通过密封轴杆贯通部(20)穿过阀壳体(2)气密地导入内部(3)，使得由阀驱动装置(5)产生的运动可以从大气区域(4)传递到内部(3)，用于中断、释放或控制流动。轴杆贯通部(20)包括：第一密封环(21)，该第一密封环沿径向以气体密封方式同心地包围轴杆(6)；支承表面(22)，该支承表面相对于轴杆(6)沿轴向面对，第一密封环(21)至少部分地以气密密封方式抵靠所述支承表面；支撑环(23)；以及弹簧(25)。支撑环(23)的内锥形段(24)至少部分地包围第一密封环(21)。弹簧(25)沿朝向支承表面(22)的方向轴向挤压支撑环(23)，使得锥形段(24)以基本恒定的压力将第一密封环(21)弹性柔顺地挤压在支承表面(22)和轴杆(6)上。

主权项

一种真空阀（1），该真空阀用于中断、释放或调节沿着所述真空阀（1）的内部区域（3）中的流道（F）流动的介质流，该真空阀具有：阀壳体（2），该阀壳体将所述真空阀（1）的所述内部区域（3）以气密方式与所述真空阀（1）外部的大气区域（4）分离；阀驱动装置（5），该阀驱动装置用于产生所述大气区域（4）中的运动；轴杆（6），该轴杆联接到所述阀驱动装置（5），具有几何轴杆轴线（7），并且通过密封轴杆贯通部（20）以气密方式从所述大气区域（4）穿过所述阀壳体（2）导入所述内部区域（3），通过该轴杆，所述运动可从所述大气区域（4）传递至所述内部区域（3）中；以及阀关闭件（8），该阀关闭件布置在所述内部区域（3）的所述流道（F）中，并且联接到所述轴杆（6），借助于该阀关闭件，可通过所述运动进行中断、释放或调节沿着所述流道（F）流动的介质流的操作，所述真空阀的特征在于，所述轴杆贯通部（20）具有：第一密封环（21），该第一密封环由在热的作用下膨胀的材料构成，并且以沿径向气密密封的方式同心地包围所述轴杆（6）；支承表面（22），该支承表面联接到所述阀壳体（2），围绕所述轴杆（6），相对于所述轴杆（6）轴向定向，并且基本在将所述轴杆（6）的所述几何轴线（7）作为法线的平面（22a）中延伸，所述第一密封环（21）以气密密封抵靠在该支承表面上，使得所述第一密封环（21）沿着平行于所述轴杆（6）的方向轴向固定，其中所述第一密封环（21）以沿轴向气密密封的方式抵靠在所述支承表面（22）上，并且所述第一密封环（21）引起所述支承表面（22）与所述轴杆（6）之间气密接触；支撑环（23），该支撑环由基本刚性材料构成，围绕所述轴杆（6）同心布置，并且与所述支承表面（22）轴向相对，该支撑环可相对于所述支承表面（22）、所述阀壳体（2）和所述轴杆（6）以有限程度轴向运动，并且在朝向所述支承表面（22）定向的部分（26）上，该支撑环具有内锥形段（24），该内锥形段围绕所述轴杆（6）同 心延伸并包围所述轴杆（6），该内锥形段沿着朝向所述支承表面（22）的方向以一锥形开口角（α）加宽，并且至少部分地包围所述第一密封环（21）；以及弹性弹簧（25），该弹性弹簧沿朝向所述支承表面（22）的方向向所述支撑环（23）轴向施力，使得所述锥形段（24）以弹性柔顺的方式并且基本在恒定的接触压力下将所述第一密封环（21）紧压在所述支承表面（22）和所述轴杆（6）上，其中，所述锥形开口角（α）使得由受到热作用的所述第一密封环（21）引起的该第一密封环（21）的径向膨胀导致所述支撑环（23）沿远离所述支承表面（22）的方向轴向运动，并且其中所述弹性弹簧（25）被设计成使得该弹性弹簧（25）屈服于由所述径向膨胀引起的所述支撑环（23）的轴向运动，并且，所述第一密封环被设计为第一O形环（21），在沿轴向观看时，在所述第一O形环（21）与所述支承表面（22）之间存在基本环形的密封接触，当沿径向观看时，在所述第一O形环（21）与所述轴杆（6）之间存在基本环形的密封接触，并且在沿相对于所述支承表面（22）和所述轴杆（6）倾斜的方向观看时，在所述第一O形环（21）与所述支撑环（23）的所述内锥形段（24）之间存在支撑接触，其中，所述支撑环（23）的所述内锥形段（24）沿朝向所述支承表面（22）的方向以80°至100°的锥形开口角（α）加宽。