一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件

摘要

本实用新型提供一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，主要包括球形蒸发样品架，多尺寸样品槽，圆柱形空腔，观察窗，进气孔，真空泵接口，真空规管接口，蒸发用电极等部件组成。可以在不改变现有硅基太阳能电池片生产流程的基础上，实现对商用太阳能电池片进行多片同时蒸镀均匀微纳米级金属薄膜的目的。独特的球形蒸发样品架和多尺寸样品槽的设计，使得本实用新型可以对不同尺寸的太阳能电池片进行加工以及保证金属薄膜的均匀性。另外此结构使得生产线分工明确，可操作性强，生产效率高。

主权项

一种太阳能电池片用纳米薄膜蒸发套件，其特征在于：包括球形蒸发样品架，圆柱形空腔（1）和多尺寸样品槽（20）；所述的圆柱形空腔（1）由圆形顶板（14），圆柱空腔，圆形底板（13）组成；圆柱空腔侧面含有进气孔（4）及观测窗（3），圆形底板含有三个圆形孔洞分别为：真空泵接口的圆形孔洞（7），真空电阻规管接口的圆形孔洞（11）和真空电离规管接口的圆形孔洞（12），分别用来连接真空泵，真空电阻规管，真空电离规管；圆形底板含有下球壳固定架（8），绝缘台（9）以及蒸发用电极（10），球壳固定架（8）有四个对称圆柱及一个具有一定厚度的圆环组成，用来固定下球壳（6），蒸发用电极（10）用来悬挂蒸发丝，其需穿过绝缘台（9）与圆柱形空腔外面的导线相连接，当下球壳（6）固定到下球壳固定架（8）后，绝缘台（9）与蒸发用电极（10）能够穿过下球壳底部圆形孔洞，而蒸发用电极（10）处于球壳球心处；所述的球形蒸发样品架为一金属球壳，球壳镂空，镂空图案为圆孔阵列，球壳由中心处一剖为二，分为上球壳（17）与下球壳（6），其中下球壳（6）底部挖有一所述的圆形孔洞，上、下球壳的剖切处均焊有圆环固定带，分别称为上球壳圆环固定带（16）、下球壳圆环固定带（5），上、下球壳圆环固定带表面应分别与上、下球壳的切面重合，当上、下球壳圆环固定带贴紧时，上、下球壳应严格吻合，即重新组装成完整球壳，上球壳与所述的圆形顶板（14）固定连接，下球壳与所述的圆形底板（13）固定连接；所述的多尺寸样品槽（20）下底面为部分球弧面，上底面为正方形平面，多尺寸样品槽上底面四周含有卡槽，用来固定太阳能电池片，其中一边的卡槽可绕此边旋转，方便太阳能电池片的取放，另外此旋转卡槽含有卡箍，与此旋转卡槽相互垂直的两个卡槽上均含有相应的卡扣，当卡箍与卡扣扣紧时，电池片方可固定，多尺寸样品槽下底面含有圆柱阵列。