冷氢化电加热器在线清洗方法及清洗装置

摘要

冷氢化电加热器在线清洗方法及清洗装置。冷氢化电加热器在线清洗方法，用于在制备三氯氢硅的冷氢化系统中在线地去除电加热器中的无定型硅，所述冷氢化电加热器在线清洗方法包括：清洗步骤：从氯化氢供料系统中引入氯化氢至所述冷氢化系统的电加热器中，氯化氢与电加热器内的无定型硅发生反应，得到包含反应生成的三氯氢硅、氢气以及未反应的氯化氢的清洗后气；冷凝步骤：将所述清洗后气在冷氢化系统中冷凝分离为三氯氢硅液体和氢气、氯化氢气体，其中氢气和氯化氢作为循环气送入电加热器循环使用。本发明在清洗过程中不需要拆装电加热器，能够大幅度增加运行时间，降低成本。

主权项

一种冷氢化电加热器在线清洗方法，用于在制备三氯氢硅的冷氢化系统中在线地去除电加热器中的无定型硅，所述冷氢化电加热器在线清洗方法包括：清洗步骤：从氯化氢供料系统中引入氯化氢至所述冷氢化系统的电加热器中，氯化氢与电加热器内的无定型硅发生反应，得到包含反应生成的三氯氢硅、氢气以及未反应的氯化氢的清洗后气；冷凝步骤：将所述清洗后气在冷氢化系统中冷凝分离为三氯氢硅液体和氢气、氯化氢气体，其中氢气和氯化氢作为循环气送入电加热器循环使用。