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发明名称 PRECURSOR FILM AND METHOD OF FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1845563(A4) 申请公布日期 2013.03.20
申请号 EP20050822368 申请日期 2005.12.27
申请人 SHOWA SHELL SEKIYU KABUSHIKI KAISHA 发明人 KURIYAGAWA, SATORU;TANAKA, YOSHIAKI;NAGOYA, YOSHINORI
分类号 H01L21/36;H01L21/02;H01L21/363;H01L31/032;H01L31/18 主分类号 H01L21/36
代理机构 代理人
主权项
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