发明名称 传感器装置及方法
摘要 本发明公开了一种传感器装置及方法。在基板上形成石墨烯层。将塑性材料沉积在石墨烯层上,以至少部分地覆盖石墨烯层。将基板分成至少两个基板件。
申请公布号 CN102980917A 申请公布日期 2013.03.20
申请号 CN201210328529.7 申请日期 2012.09.06
申请人 英飞凌科技股份有限公司 发明人 克劳斯·埃里安;伊姆加德·埃舍尔-珀佩尔;京特·鲁赫尔;霍斯特·托伊斯
分类号 G01N27/04(2006.01)I;G01N27/12(2006.01)I 主分类号 G01N27/04(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 一种方法,所述方法包括:在基板上形成石墨烯层;将塑性材料沉积在所述石墨烯层上,以至少部分地覆盖所述石墨烯层;以及将所述基板分成至少两个基板件。
地址 德国瑙伊比贝尔格市