| 发明名称 | 制备CdTe薄膜的方法及热蒸发设备 | ||
| 摘要 | 本申请提供了一种制备CdTe薄膜的方法及热蒸发设备。根据本申请的一个实施例，一种制备CdTe薄膜的方法包括：准备单质Cd和Te；将所述Cd和Te平铺于热蒸发设备的热蒸发源上；对所述热蒸发源进行加热，以产生Cd蒸汽和Te蒸汽；在所述热蒸发设备内的CdS衬底上形成CdTe薄膜。本申请通过采用价格较低的单质原料（碲和镉）来取代原来的化合物原料，使成本降低。同时，本申请将原来CdTe原料合成工艺与CdTe薄膜制备工艺结合起来，使得整个工艺流程大大简化。 | ||
| 申请公布号 | CN102978572A | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN201110263460.X | 申请日期 | 2011.09.07 |
| 申请人 | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 | 发明人 | 刘志强;蒋猛 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C30B29/48(2006.01)I;C30B25/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 俞华梁;王忠忠 |
| 主权项 | 一种制备CdTe薄膜的方法，包括：准备单质Cd和Te；将所述Cd和Te平铺于热蒸发设备的热蒸发源上；对所述热蒸发源进行加热，以产生Cd蒸汽和Te蒸汽；在所述热蒸发设备内的CdS衬底上形成CdTe薄膜。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新区长江南路17－6 | ||