| 发明名称 | 含镓的金属氧化物层的蚀刻溶液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种含镓的金属氧化物层的蚀刻溶液组合物。所述组合物包括：重量百分比为5%~20%的过硫酸盐、重量百分比为1%~15%的无机酸或无机酸的盐以及形成所述组合物的余量的水，以高的蚀刻速度均匀地进行金属氧化物层的湿蚀刻，该金属氧化物层包含氧化铟、氧化锌或其混合物以及镓或氧化镓，从而简化蚀刻过程且提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102977889A | 申请公布日期 | 2013.03.20 |
| 申请号 | CN201210322644.3 | 申请日期 | 2012.09.03 |
| 申请人 | 东友精细化工有限公司 | 发明人 | 张尚勋;权五柄;沈庆辅;李智娟;刘仁浩 |
| 分类号 | C09K13/04(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人 | 李中奎 |
| 主权项 | 一种用于含镓的金属氧化物层的蚀刻溶液组合物，所述蚀刻溶液组合物包括：重量百分比为5%~20%的过硫酸盐、重量百分比为1%~15%的无机酸或无机酸的盐以及形成所述组合物的余量的水。 | ||
| 地址 | 韩国全罗北道益山市 | ||