一种回收硅片多线切割过程中产生的废浆料的方法

摘要

本发明涉及一种回收硅片多线切割过程中产生的废浆料的方法，具体而言，涉及分开回收废浆料中的废砂浆和洗机废液的方法。与本领域内常规的回收方法相比，通过分开回收处理洗机废液和废砂浆，大大降低了回收成本，提高了回收效率。

主权项

一种回收硅片多线切割过程中产生的废浆料的方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将在多线切割过程中产生的废砂浆和洗机废液分别导入不同的容器中，分别得到废砂浆和洗机废液；2)使用固液分离装置处理洗机废液，回收得到洗机用切割液；3)将在步骤2)中产生的固体残渣加入废砂浆中，并回收处理混合后的废砂浆。