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发明名称 DURABLE ETALON BASED OUTPUT COUPLER
摘要
申请公布号 EP1155481(B1) 申请公布日期 2013.03.13
申请号 EP19990961808 申请日期 1999.11.23
申请人 CYMER, INC. 发明人 ERSHOV, ALEXANDER, I.
分类号 G03F7/20;H01S3/02;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/08;H01S3/081;H01S3/0971;H01S3/098;H01S3/105;H01S3/1055;H01S3/137;H01S3/139;H01S3/223;H01S3/225 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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