一种保持研磨率稳定的装置及其方法

摘要

本发明提供了一种保持研磨率稳定的装置，包括调节器、与调节器连接的悬臂、研磨垫，调节器用以刮削研磨垫表面，悬臂内具有电机，保持研磨率稳定的装置还包括：检测分析单元，与电机信号连接，检测分析单元用以检测电机的扭矩，并且根据电机的扭矩调整调节器的程式设定；控制单元，与检测分析单元信号连接，接收程式设定并控制电机的转速。本发明还提供了一种保持研磨率稳定的方法。本发明提供的保持研磨率稳定的装置，通过检测电机的扭矩从而调整电机的转速，使电机所在悬臂的工作趋于稳定，进一步使与悬臂连接的调节器对研磨垫的刮削力度均衡，最终使研磨垫表面的粗糙度保持均匀良好，能够保证研磨率稳定。

主权项

一种保持研磨率稳定的装置，包括调节器、与所述调节器连接的悬臂、研磨垫，所述调节器用以刮削所述研磨垫表面，所述悬臂内具有电机，其特征在于，还包括：检测分析单元，与所述电机信号连接，所述检测分析单元用以检测所述电机的扭矩，并且根据所述电机的扭矩调整所述调节器的程式设定；控制单元，与所述检测分析单元信号连接，接收所述程式设定并控制所述电机的转速。