一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备

摘要

本实用新型属于冶金提纯技术领域，特别涉及一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备。该设备中，水冷旋转杆穿过炉体底部与水冷托盘固定连接，散热板固定安装于水冷托盘之上，凝固保温装置放置于散热板之上，保温套筒套于凝固保温装置外围，保温套筒通过固定支架固定安装于炉体内壁，感应线圈套于保温套筒之外，落粉装置通过支撑架固定于炉体内部，且位于凝固保温装置正上方。本实用新型的显著效果是：在凝固尾声阶段，利用落料装置将硅粉均匀散落到硅熔体表面，硅粉作为形核剂使杂质含量较高的上层硅熔体迅速凝固，达到了反向诱导凝固提纯多晶硅的目的，具有提纯效果好，操作简单，可控性强的优点。

主权项

一种反向诱导凝固提纯多晶硅的设备，由炉盖（1）、炉体（4）以及支撑基座（11）组成外部结构，其特征是：水冷旋转杆（13）穿过炉体（4）底部与水冷托盘（12）固定连接，散热板（10）固定安装于水冷托盘（12）之上，凝固保温装置放置于散热板（10）之上，保温套筒（7）套于凝固保温装置外围，保温套筒（7）通过固定支架（9）固定安装于炉体（4）内壁，感应线圈（8）套于保温套筒（7）之外，落粉装置（2）通过支撑架（3）固定于炉体（4）内部，且位于凝固保温装置正上方，机械泵（14）和罗茨泵（15）放置于炉体（4）之外，通过真空管道（16）连接，真空管道（16）一端通向炉体（4）内部。