发明名称 | 用于制造三维立体掩模板的芯模 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种用于制造三维立体掩模板的芯模。本实用新型提供的用于制造三维立体掩模板的芯模中所述芯模的一面设有凹陷区域,用于电铸形成三维立体掩模板上的三维立体结构,有利于芯模与镀层的剥离,且不容易起皮脱落、变形,可以保证在蚀刻时凹陷部位与平面部位的夹角控制在70°~90°,生产成本低,具有广阔的市场前景。 | ||
申请公布号 | CN202786400U | 申请公布日期 | 2013.03.13 |
申请号 | CN201220019099.6 | 申请日期 | 2012.01.16 |
申请人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 发明人 | 魏志凌;高小平;潘世弥;孙倩 |
分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/12(2006.01)I;C25D1/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种用于制造三维立体掩模板的芯模,其特征在于,所述芯模的一面设有凹陷区域,用于电铸形成三维立体掩模板上的三维立体结构。 | ||
地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |