可降低基板变形的孔板结构

摘要

本实用新型是提供一种可降低基板变形的孔板结构，其包含：一空调机；一给气室，所述给气室与空调机之间以循环管路相连接，所述给气室可供设置于无尘室的顶棚，所述给气室内设有容置空间，又所述给气室下方设有开口；至少一个孔板，所述孔板固设于所述给气室下方的开口处，所述孔板上设有数个气流孔，且所述气流孔与孔板之间具有夹角，又所述夹角的角度小于90度；通过所述气流孔与孔板之间具有夹角，且所述夹角的角度小于90度，也即所述气流孔与孔板之间具有一倾斜角度，可降低所述玻璃基板的弯曲变形，避免现有玻璃基板容易因弯曲变形而形成制程误差，导致产品良率降低的缺失，进而可使本实用新型达到提升产品良率的功效。

主权项

一种可降低基板变形的孔板结构，其特征在于，其包含:一空调机；一给气室，所述给气室与空调机之间以循环管路相连接，所述给气室设置于无尘室的顶棚，所述给气室内设有容置空间，又所述给气室下方设有开口；至少一个孔板，所述孔板固设于所述给气室下方的开口处，所述孔板上设有数个气流孔，且所述气流孔与孔板之间具有夹角，又所述夹角的角度小于90度。