流量传感器

摘要

本实用新型公开了一种流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。这种流量传感器灵敏度和响应性良好，且适合于测量腐蚀性流体的流速或流量。

主权项

一种流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，其特征在于：所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。