一种PECVD电极板

摘要

本实用新型涉及一种PECVD电极板，具有电缆、接入点和基板；所述接入点固定设置在基板的上边缘或者下边缘的中心；所述电缆通过接入点连接到基板上；所述基板上开有绝缘槽；所述绝缘槽与基板的上下边缘平行。本实用新型简化了射频（RF）或甚高频（VHF）的接入方式；通过在基板上开绝缘槽，改变流入基板的电流流向，使得基板上的电流分布较为均匀，从而提高在镀膜作业时基板的镀膜均匀性，提升镀膜质量，有效地降低成本与品管成本，提升产品的市场竞争力。

主权项

一种PECVD电极板，具有电缆（1）、接入点（2）和基板（3）；所述接入点（2）固定设置在基板（3）的上边缘或者下边缘的中心；所述电缆（1）通过接入点（2）连接到基板（3）上；其特征在于：所述基板（3）上开有绝缘槽（4）；所述绝缘槽（4）与基板（3）的上下边缘平行。