具有碳氮氧化钛涂层的切削镶片及其制造方法

摘要

本发明涉及具有碳氮氧化钛涂层的切削镶片及其制造方法。一种用于制造涂覆的切削镶片的方法以及该涂覆的切削镶片，该方法包括以下步骤：提供具有一个表面的基底，并且沉积一个碳氮氧化钛的CVD涂覆层。用于沉积该碳氮氧化钛涂覆层的气态混合物具有的组成为：氮气、甲烷、氯化氢、四氯化钛、乙腈、一氧化碳、以及氢气。该碳氮氧化钛涂覆层包含的碳氮氧化钛晶须具有在二维平面视图中测量的、大于约1.0μm的平均长度、大于约0.2μm的平均宽度、以及大于约2.0的平均长宽比。

主权项

一种用于制造涂覆的切削镶片的方法，包括以下步骤：提供具有一个表面的基底；用一种气态混合物通过化学气相沉积来沉积一个碳氮氧化钛涂覆层，该气态混合物包含：氮气，存在的量值是在约5摩尔百分比与约40摩尔百分比之间，甲烷，存在的量值是在约0.5摩尔百分比与约8.0摩尔百分比之间，氯化氢，任选地存在的量值为高达约5.0摩尔百分比，四氯化钛，存在的量值是在约0.2摩尔百分比与约3.0摩尔百分比之间，乙腈，存在的量值是在约0.02摩尔百分比与约0.15摩尔百分比之间，一氧化碳，存在的量值是在约0.4摩尔百分比与约2.0摩尔百分比之间，以及氢气，存在的量值是在约41.85摩尔百分比与约93.88摩尔百分比之间。