发明名称 双极型晶体管的器件失配的修正方法
摘要 本发明公开了一种双极型晶体管的器件失配的修正方法,首先,确定双极型晶体管的工艺失配参数为GP模型中的6个模型参数,分别为双极型晶体管的输运饱和电流、正向电流发射系数、电流放大倍数、正向厄莱电压、发射结电容、集电结电容;其次,设定这6个参数的随机偏差;再次,对双极型晶体管的器件失配进行修正。本发明可以在SPICE软件中对双极型晶体管的器件失配进行仿真分析,而且充分考虑到发射极宽度We、发射极长度Le和器件间距D对双极型晶体管的器件失配的影响。
申请公布号 CN102385641B 申请公布日期 2013.03.13
申请号 CN201010269255.X 申请日期 2010.09.03
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 周天舒
分类号 G06F17/50(2006.01)I 主分类号 G06F17/50(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 丁纪铁
主权项 1.一种双极型晶体管的器件失配的修正方法,其特征是:首先,确定双极型晶体管的工艺失配参数为GP模型中的6个模型参数,分别为双极型晶体管的输运饱和电流、正向电流发射系数、电流放大倍数、正向厄莱电压、发射结电容、集电结电容;其次,设定输运饱和电流的随机偏差<img file="FDA00002359824200011.GIF" wi="103" he="54" /><img file="FDA00002359824200012.GIF" wi="546" he="126" />设定正向电流发射系数的随机偏差<img file="FDA00002359824200013.GIF" wi="117" he="54" /><img file="FDA00002359824200014.GIF" wi="571" he="126" />设定电流放大倍数的随机偏差<img file="FDA00002359824200015.GIF" wi="176" he="53" /><maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>设定正向厄莱电压的随机误差<img file="FDA00002359824200017.GIF" wi="133" he="54" /><img file="FDA00002359824200018.GIF" wi="604" he="126" />设定发射结电容的随机误差<img file="FDA00002359824200019.GIF" wi="198" he="54" /><maths num="0002"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>设定集电结电容的随机误差<img file="FDA000023598242000111.GIF" wi="124" he="54" /><maths num="0003"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>其中W<sub>e</sub>为双极型晶体管的发射极宽度、L<sub>e</sub>为双极型晶体管的发射极长度、D为双极型晶体管之间的间距,S<sub>ΔIS</sub>、T<sub>ΔIS</sub>、S<sub>ΔNF</sub>、T<sub>ΔNF</sub>、S<sub>ΔBF1</sub>、S<sub>ΔBF2</sub>、S<sub>ΔBF3</sub>、T<sub>ΔBF</sub>、S<sub>ΔVAF</sub>、T<sub>ΔVAF</sub>、S<sub>ΔCJE1</sub>、S<sub>ΔCJE2</sub>、S<sub>ΔCJE3</sub>、T<sub>ΔCJE</sub>、S<sub>ΔCJC1</sub>、S<sub>ΔCJC2</sub>、S<sub>CJC3</sub>、T<sub>ΔCJC</sub>为随机偏差修正因子;再次,对双极型晶体管的器件失配进行修正,具体包括:<maths num="0004"><![CDATA[<math><mrow><mi>IS</mi><mo>=</mo><mi>IS</mi><mo>_</mo><mi>original</mi><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mi>&Delta;IS</mi></msub><msqrt><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></msqrt></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>D</mi><mo>&times;</mo><msub><mi>T</mi><mi>&Delta;IS</mi></msub><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>其中IS为修正后的双极型晶体管的输运饱和电流,IS_original为原始的双极型晶体管的输运饱和电流;<maths num="0005"><![CDATA[<math><mrow><mi>NF</mi><mo>=</mo><mi>NF</mi><mo>_</mo><mi>original</mi><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mi>&Delta;NF</mi></msub><msqrt><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></msqrt></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>D</mi><mo>&times;</mo><msub><mi>T</mi><mi>&Delta;NF</mi></msub><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>其中NF为修正后的双极型晶体管的正向电流发射系数,NF_original为原始的双极型晶体管的正向电流发射系数;<maths num="0006"><![CDATA[<math><mrow><mfenced open='' close=''><mtable><mtr><mtd><mi>BF</mi><mo>=</mo><mi>BF</mi><mo>_</mo><mi>original</mi><mo>&times;</mo><mo>[</mo><mn>1</mn><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>1</mn></mrow></msub><msqrt><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></msqrt></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></mrow></msub><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>3</mn></mrow></msub><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>D</mi><mo>&times;</mo><msub><mi>T</mi><mi>&Delta;BF</mi></msub><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>]</mo></mtd></mtr></mtable></mfenced><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>其中BF为修正后的双极型晶体管的电流放大倍数,BF_original为原始的双极型晶体管的电流放大倍数;<maths num="0007"><![CDATA[<math><mrow><mi>VAF</mi><mo>=</mo><mi>VAF</mi><mo>_</mo><mi>original</mi><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mi>&Delta;VAF</mi></msub><msqrt><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></msqrt></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>D</mi><mo>&times;</mo><msub><mi>T</mi><mi>&Delta;VAF</mi></msub><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>其中VAF为修正后的双极型晶体管的正向厄莱电压,VAF_original为原始的双极型晶体管的正向厄莱电压;<maths num="0008"><![CDATA[<math><mrow><mfenced open='' close=''><mtable><mtr><mtd><mi>CJE</mi><mo>=</mo><mi>CJE</mi><mo>_</mo><mi>original</mi><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>1</mn></mrow></msub><msqrt><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></msqrt></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></mrow></msub><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>3</mn></mrow></msub><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>D</mi><mo>&times;</mo><msub><mi>T</mi><mi>&Delta;CJE</mi></msub><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr></mtable></mfenced><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>其中CJE为修正后的双极型晶体管的发射结电容,CJE_original为原始的双极型晶体管的发射结电容;<maths num="0009"><![CDATA[<math><mrow><mfenced open='' close=''><mtable><mtr><mtd><mi>CJC</mi><mo>=</mo><mi>CJC</mi><mo>_</mo><mi>original</mi><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>1</mn></mrow></msub><msqrt><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></msqrt></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></mrow></msub><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>+</mo><mfrac><msub><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>3</mn></mrow></msub><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mfrac><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow><mo>+</mo><mi>D</mi><mo>&times;</mo><msub><mi>T</mi><mi>&Delta;CJC</mi></msub><mo>&times;</mo><mi>agauss</mi><mrow><mo>(</mo><mn>0,1,3</mn><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr></mtable></mfenced><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>其中CJC为修正后的双极型晶体管的集电结电容,CJC_original为原始的双极型晶体管的集电结电容;所述agauss(0,1,3)表示期望值为1、标准差为1/3的正态分布取值范围内的随机数;所述随机偏差修正因子T<sub>ΔIS</sub>、T<sub>ΔNF</sub>、t<sub>ΔBF</sub>、t<sub>ΔVAF</sub>、T<sub>ΔCJE</sub>、T<sub>ΔCJC</sub>仅与D相关,所述随机偏差修正因子S<sub>ΔIS</sub>、S<sub>ΔNF</sub>、S<sub>ΔVAF</sub>、S<sub>ΔBF1</sub>、S<sub>ΔCJE1</sub>、S<sub>ΔCJC1</sub>仅与W<sub>e</sub>和L<sub>e</sub>相关,所述随机偏差修正因子S<sub>ΔBF2</sub>、S<sub>ΔCJE2</sub>、S<sub>ΔCJC2</sub>仅与W<sub>e</sub>相关,所述随机偏差修正因子S<sub>ΔBF3</sub>、S<sub>ΔCJE3</sub>、S<sub>ΔCJC3</sub>仅与L<sub>e</sub>相关;所述随机偏差修正因子S<sub>ΔIS</sub>、T<sub>ΔIS</sub>、S<sub>ΔNF</sub>、T<sub>ΔNF</sub>、S<sub>ΔBF1</sub>、S<sub>ΔBF2</sub>、S<sub>ΔBF3</sub>、T<sub>ΔBF</sub>、S<sub>ΔVAF</sub>、T<sub>ΔVAF</sub>、S<sub>ΔCJE1</sub>、S<sub>ΔCJE2</sub>、S<sub>ΔCJE3</sub>、T<sub>ΔCJE</sub>、S<sub>ΔCJC1</sub>、S<sub>ΔCJC2</sub>、S<sub>ΔCJC3</sub>、T<sub>ΔCJC</sub>的计算包括如下步骤:第1步,从实际测试得到的双极型晶体管的器件失配数据中,先挑选出Le取值最大的数据,再从中挑选出W<sub>e</sub>取值最大的一组数据;将该组数据代入公式<maths num="0010"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;IS</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;IS</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0011"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;NF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;NF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0012"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0013"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;VAF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;VAF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0014"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths><maths num="0015"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>,</mo></mrow></math>]]></maths>得到不同D取值所对应的T<sub>ΔIS</sub>、T<sub>ΔNF</sub>、T<sub>ΔBF</sub>、T<sub>ΔVAF</sub>、T<sub>ΔCJE</sub>和T<sub>ΔCJC</sub>的取值;第2步,将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔIS</sub>取值代入公式<img file="FDA00002359824200037.GIF" wi="546" he="126" />得到不同W<sub>e</sub>和L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔIS</sub>取值;将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔNF</sub>取值代入公式<img file="FDA00002359824200038.GIF" wi="571" he="126" />得到不同W<sub>e</sub>和L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔNF</sub>取值;将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔVAF</sub>取值代入公式<img file="FDA00002359824200041.GIF" wi="604" he="126" />得到不同W<sub>e</sub>和L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔVAF</sub>取值;第3步,将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔBF</sub>取值代入公式<maths num="0016"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>再从所有实际测试得到的双极型晶体管的器件失配数据中,挑选出L<sub>e</sub>取值最大的数据代入公式<img file="FDA00002359824200043.GIF" wi="530" he="127" />得到不同W<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔBF2</sub>取值;再从所有实际测试得到的双极型晶体管的器件失配数据中,挑选出W<sub>e</sub>取值最大的数据代入公式<img file="FDA00002359824200044.GIF" wi="524" he="127" />得到不同L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔBF3</sub>取值;将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔCJE</sub>取值代入公式<maths num="0017"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>再从所有实际测试得到的双极型晶体管的器件失配数据中,挑选出L<sub>e</sub>取值最大的数据代入公式<img file="FDA00002359824200046.GIF" wi="567" he="127" />得到不同We取值所对应的S<sub>ΔCJE2</sub>取值;再从所有实际测试得到的双极型晶体管的器件失配数据中,挑选出W<sub>e</sub>取值最大的数据代入公式<img file="FDA00002359824200047.GIF" wi="567" he="126" />得到不同L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJE3</sub>取值;将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔCJC</sub>取值代入公式<maths num="0018"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>再从所有实际测试得到的双极型晶体管的器件失配数据中,挑选出L<sub>e</sub>取值最大的数据代入公式<img file="FDA00002359824200052.GIF" wi="575" he="127" />得到不同W<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJC2</sub>取值;再从所有实际测试得到的双极型晶体管的器件失配数据中,挑选出W<sub>e</sub>取值最大的数据代入公式<img file="FDA00002359824200053.GIF" wi="571" he="127" />得到不同L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJC3</sub>取值;第4步,将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔBF</sub>取值、将第3步得到的任意W<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔBF2</sub>取值、将第3步得到的任意L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔBF3</sub>取值一起代入公式<maths num="0019"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;BF</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;BF</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>得到该W<sub>e</sub>取值与该L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔBF1</sub>的取值;重复多次以得到不同W<sub>e</sub>取值与不同L<sub>e</sub>取值所对应的各个S<sub>ΔBF1</sub>的取值;将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔCJE</sub>取值、将第3步得到的任意We取值所对应的S<sub>ΔCJE2</sub>取值、将第3步得到的任意L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJE3</sub>取值一起代入公式<maths num="0020"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJE</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJE</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>得到该W<sub>e</sub>取值与该L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJE1</sub>的取值;重复多次以得到不同W<sub>e</sub>取值与不同L<sub>e</sub>取值所对应的各个S<sub>ΔCJE1</sub>的取值;将第1步得到的任意D取值所对应的T<sub>ΔCJC</sub>取值、将第3步得到的任意W<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJC2</sub>取值、将第3步得到的任意L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJC3</sub>取值一起代入公式<maths num="0021"><![CDATA[<math><mrow><msubsup><mi>&sigma;</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>=</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>1</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><mrow><msub><mi>W</mi><mi>e</mi></msub><mo>&times;</mo><msub><mi>L</mi><mi>e</mi></msub></mrow></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>W</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><mfrac><msubsup><mi>S</mi><mrow><mi>&Delta;CJC</mi><mn>3</mn></mrow><mn>2</mn></msubsup><msubsup><mi>L</mi><mi>e</mi><mn>2</mn></msubsup></mfrac><mo>+</mo><msup><mi>D</mi><mn>2</mn></msup><mo>&times;</mo><msubsup><mi>T</mi><mi>&Delta;CJC</mi><mn>2</mn></msubsup><mo>;</mo></mrow></math>]]></maths>得到该W<sub>e</sub>取值与该L<sub>e</sub>取值所对应的S<sub>ΔCJC1</sub>的取值;重复多次以得到不同W<sub>e</sub>取值与不同L<sub>e</sub>取值所对应的各个S<sub>ΔCJC1</sub>的取值。
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