发明名称 PROBE CARD
摘要
申请公布号 EP2216655(A4) 申请公布日期 2013.03.13
申请号 EP20080853954 申请日期 2008.11.05
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 YONEZAWA, TOSHIHIRO;TAKASE, SHINICHIRO
分类号 G01R1/073;G01R1/44 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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