软性基板结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种软性基板结构及其制造方法，上述软性基板结构包括软性金属载板、表面改质层与软性塑料基板。软性金属载板包括第一区与第二区。表面改质层位于软性金属载板的第一区上并与其接触。软性塑料基板位于第一区与第二区上，其中位于第一区上的软性塑料基板与表面改质层接触，位于第二区上方的软性塑料基板与软性金属载板接触。本发明的软性基板结构可大幅提升后续所形成的各膜层在进行黄光微影时的对位精准度，提升工艺的良率。

主权项

一种软性基板结构，其特征在于，包括：软性金属载板，包括至少一第一区与至少一第二区；表面改质层，位于上述软性金属载板的上述第一区上并与其接触；以及软性塑料基板，位于上述第一区与上述第二区上，位于上述第一区上的上述软性塑料基板与上述表面改质层接触，位于上述第二区上方的上述软性塑料基板与上述软性金属载板接触。