在可重复使用的基板上制造探针卡的微机电探针

摘要

本发明是一种可重复使用的基板上制造探针卡的微机电(micro-electro-mechanical system；MEMS)探针，是于一基板上制造一微机电探针，以供用于一探针卡。该探针具有一接合面，该接合面被附着至探针卡的一应用平台。该接合面是形成于一垂直于该基板的一表面的平面上。于该探针下面形成一底切(undercut)，用于将探针自基板分离。

主权项

一种于基板上制造一探针的方法，包括：在一基板上利用微机电工艺技术来制作一探针，该探针具有一接合面可以安装在一探针卡的一应用平台上，该接合面是形成在垂直于该基板的一表面的一平面上；以及其中，在该基板上形成一牺牲层，且该牺牲层上形成该探针与一支撑结构，去除该探针下方的该牺牲层，而不完全去除该支撑结构下方的该牺牲层，该探针下方形成一底切，使得该探针可以自该基板上分离。