紫外光硬化系统

摘要

本发明的实施方式大致涉及一种用于固化沉积于基材上之介电材料的紫外光固化处理室、以及利用紫外光辐射固化介电材料的方法。一种根据本发明实施方式的基材处理设备包括：一本体，界定出基材处理区；一基材支撑件，用以在基材处理区内支撑基材；一紫外光辐射灯，与基材支撑件间隔设置，该灯系经配置以将紫外光辐射传送至位于基材支撑件上的基材；以及一马达，其可运转地耦合以使紫外光辐射灯或基材支撑件的至少一者相对彼此旋转至少180度。该基材处理设备更可包括一或多个反射器，其用于在基材上产生紫外光辐射的泛光图案，该图案具有高亮度区域和低亮度区域，当旋转时，该等区域系结合产生大致均匀的辐射图案。本发明亦公开其他实施方式。