发明名称 |
形成一用来校正度量衡工具之基底的方法、校正基底及度量衡工具校正方法 |
摘要 |
本发明提供一种用于形成一用来校正一度量衡工具之基底以便补偿该度量衡工具内之定向依赖性变化的方法。 |
申请公布号 |
TWI389137 |
申请公布日期 |
2013.03.11 |
申请号 |
TW097110839 |
申请日期 |
2008.03.26 |
申请人 |
ASML荷兰公司 荷兰 |
发明人 |
雨果 奥格斯提纳斯 约瑟夫 克瑞马;安东尼 盖斯顿 马利 凯尔斯;杰拉德斯 马里亚 约翰尼斯 威奈德 詹森 |
分类号 |
G12B13/00;G03F7/20 |
主分类号 |
G12B13/00 |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
主权项 |
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地址 |
荷兰 |