退火装置

摘要

本发明提供一种不会发生因热影响致发光量降低为起因而导致光能源效率降低的问题，可维持稳定性能的退火装置。;具有：收容晶圆W的处理室1；设置与晶圆W的面对面，具有对于晶圆W照射光的复数个LED33的加热源17a、17b；对应加热源17a、17b设置，使来自发光元件33的光的穿透透光构件18a、18b；设置可支撑透光构件18a、18b的处理室1与其相反侧，且直接接触加热源17a、17b之高热传导性材料所构成的冷却构件4a、4b；及以冷却媒体将冷却构件4a、4b冷却的冷却机构。