光罩回收设备

摘要

本发明揭露一种光罩回收设备。该设备利用一输送单元，将光罩依次浸于一酸液槽与数个清洗槽中，藉由一酸液将光罩表面图案溶蚀。该设备并具有一酸液供给回收单元及一清水供给回收单元，以自主提供与回收酸液与清水。另外，有一清洗装置，用来喷洒技术来清洗光罩、一包容箱体用以保护工作人员，及一组移动装置以移动该设备。本光罩回收设备具有机动搬运性、可回收清洗废液并可同时处理回收大批量光罩等优点。