VAPOR DEPOSITION METHOD, VAPOR DEPOSITION DEVICE, AND ORGANIC EL DISPLAY DEVICE

摘要

증착원(60)과 복수의 제어판(80)과 증착 마스크(70)을 이 순서대로 배치한다. 증착 마스크에 대하여 기판(10)을 일정 간격만큼 이격시킨 상태에서 상대적으로 이동시킨다. 증착원의 증착원 개구(61)로부터 방출된 증착 입자(91)는 인접하는 제어판간 공간(81)을 통과하고, 증착 마스크에 형성된 마스크 개구(71)를 통과하여 기판에 부착해서 피막(90)을 형성한다. 피막의 적어도 일부는, 서로 상이한 2개 이상의 제어판간 공간을 통과한 증착 입자에 의해 형성된다. 이에 의해, 단부 가장자리의 뭉개짐이나 두께 불균일이 억제된 피막을 형성할 수 있다.