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Der Testglaswechsler zur optischen Messung von Schichteigenschaften in Vakuum-Beschichtungsanlagen, die einen beweglichen Substrathalter (2) für die Führung mindestens eines Substrats auf einer Bahn durch mindestens einen Strom eines Beschichtungsmaterials aufweisen, mit einer starr mit einer Drehachse (4) verbundenen und relativ zum Substrathalter (2) um die Drehachse (4) drehbaren Halterung (6) für zumindest ein Testglaselement und mit einer Steuereinrichtung für die Einführung jeweils eines Testglaselementes in einen Strahlengang einer optischen Messvorrichtung und in den mindestens einen Strom des Beschichtungsmaterials, wobei die Halterung (6) zumindest zwei exzentrisch zur Achse (4) versetzte Ausnehmungen (7) für jeweils ein Testglaselement aufweist und durch die Steuereinrichtung eine Drehbewegung der Halterung (6) um die Achse (4) bewirkbar ist, zeichnet sich dadurch aus, dass eine Zentriervorrichtung (10) vorgesehen ist, mittels der ein Dreh- und Haltemoment auf die Halterung (6) ausübbar ist, um ein in einer der Ausnehmungen (7) angeordnetes Testglaselement in eine Messposition der Messvorrichtung zu bringen. Bei dem Verfahren zum Testglaswechseln mittels der Vorrichtung ist vorgesehen, dass bevor ein in einer der Ausnehmungen (7) angeordnetes Testglaselement in eine Messposition der Messvorrichtung gebracht wird, mittels der Steuereinrichtung eine Drehbewegung der Halterung (6) bewirkt wird, durch die dieses Testglaselement in eine erste Position gebracht wird, die einen kleineren Winkelabstand von der Messposition aufweist, als der Winkelabstand zwischen den Ausnehmungen (7) beträgt und anschließend mittels der Zentriereinrichtung (10) dieses Testglaselement in die Messposition gebracht wird. |
