一种镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板，所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。通过橄榄形修正板中间宽，两端尖细的形状来调整修正镀膜伞上工件的膜厚均匀性，具有减小膜厚误差，提高光学薄膜厚度均匀性的优点。

主权项

一种镀膜机，包括真空腔室和设于所述真空腔室上部并由电机驱动旋转的镀膜伞，所述镀膜伞中心到边缘的不同半径的位置上设有工件放置孔，所述镀膜伞一侧中心到边缘的中间位置处下方设置有蒸发源，其特征在于，所述蒸发源和所述镀膜伞之间还设置有一橄榄形修正板，所述修正板的两端尖部分别位于所述镀膜伞中心和边缘的下方。