| 发明名称 | 一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化镓表面腐蚀液及腐蚀方法，氮化镓表面腐蚀液由浓度为1±0.1摩尔/升的氢氧化钾溶液加热到35摄氏度后溶解进浓度为2±0.2摩尔/升的碳酸钾配制而成，腐蚀液的优点在于：腐蚀工艺所需的温度低、腐蚀后氮化镓表面状态好。 | ||
| 申请公布号 | CN102134491B | 申请公布日期 | 2013.03.06 |
| 申请号 | CN201010565046.X | 申请日期 | 2010.11.26 |
| 申请人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明人 | 王平;许金通;杨晓阳;陆荣;刘福浩;李向阳 |
| 分类号 | C09K13/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 郭英 |
| 主权项 | 一种氮化镓表面腐蚀液，由氢氧化钾和碳酸钾组成，其特征在于：所述的腐蚀液配制步骤如下：1)配制浓度为1±0.1摩尔/升的氢氧化钾溶液；2)将配制好的氢氧化钾溶液加热至35摄氏度；3)将碳酸钾溶入加热后的氢氧化钾溶液，使碳酸钾在溶液中的浓度达到2±0.2摩尔/升。 | ||
| 地址 | 200083 上海市玉田路500号 | ||