一种实现多晶硅铸锭炉冷却的冷却装置

摘要

本实用新型公开一种实现多晶硅铸锭炉冷却的冷却装置，所述铸锭炉的隔热笼内设置有隔热门，将隔热笼分隔为上、下腔室；所述上腔室为加热室，其内容置有加热组件和坩埚，用于熔化原料；所述下腔室为制冷室，其内容置有制冷组件，用于对坩埚内的熔化原料均匀降温，以便实现晶硅均匀生长。所述上腔室内设有定向温度传导装置，将上腔室分为上、下两个部分；所述上部分设置有上加热器和坩埚，下部分设置有下加热器。该冷却装置通过隔热门，巧妙地将炉内冷热分隔开；通过控制上下加热器的功率，形成上下温度梯度，通过打开每层隔热门可以控制开口的大小来控制通气量及冷却速度；该方法结构简单，操作方便。

主权项

一种实现多晶硅铸锭炉冷却的冷却装置，其特征在于：所述铸锭炉的隔热笼内设置有隔热门，将隔热笼分隔为上、下腔室；所述上腔室为加热室，其内容置有加热组件和坩埚，用于熔化原料；所述下腔室为制冷室，其内容置有制冷组件，用于对坩埚内的熔化原料均匀降温，以便实现晶硅均匀生长。