用于高频超声换能器的钛酸铋钠无铅压电复合厚膜及其制备方法

摘要

本发明涉及无机材料中的压电复合厚膜及其制备方法，公开了一种用于高频超声换能器的钛酸铋钠基无铅压电复合厚膜及其制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）按照Bi0.5Na0.5TiO3的化学计量比，制备钛酸铋钠先驱体溶胶；（2）制备微纳米级Bi0.5Na0.5TiO3粉体；（3）将微纳米级陶瓷粉体与钛酸铋钠先驱体溶胶混合，其中陶瓷粉体的质量含量为20%～80%，制备混合浆料；（4）重复旋涂工艺-热处理工艺，得到具有无铅压电复合厚膜。

主权项

一种用于高频超声换能器的无铅压电复合厚膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）制备钛酸铋钠先驱体溶胶：按照Bi0.5Na0.5TiO3的化学计量比，将硝酸铋溶液、乙酸钠溶液，以及钛酸四正丁酯混合溶液混合后，自然冷却至室温后，得到澄清的钛酸铋钠先驱体溶胶，备用；（2）制备微纳米级钛酸铋钠粉体：按照Bi0.5Na0.5TiO3的化学计量比，将碳酸钠、三氧化二铋，以及二氧化钛混合球磨后，干燥、压片，在800~1100℃烧结，得到具有钙钛矿结构的钛酸铋钠坯体，最后经破碎、球磨后，得到微纳米级钛酸铋钠粉体，备用；（3）混合浆料的制备：将步骤（2）得到的纳米级钛酸铋钠粉体和步骤（1）得到的钛酸铋钠先驱体溶胶混合，其中，陶瓷粉体的质量含量为20~80%，搅拌均匀后得到稳定的混合浆料；（4）采用旋涂工艺将步骤（3）得到的混合浆料沉积在镀Pt的硅基底上，然后进行热处理工艺，得到具有钛酸铋钠的无铅压电复合厚膜。