气体流量检定系统及气体流量检定单元

摘要

本发明提供一种气体流量检定系统及气体流量检定单元，该气体流量检定系统具有：多条工艺气体管线，其将来自工艺气体供给源的气体经由第一管线截止阀、第二管线截止阀和流量控制仪器向工艺腔室供给；及共用气体管线，其为了将来自共用气体供给源的气体经由第二管线截止阀和流量控制仪器排出，而与工艺气体管线分支连接，在共用气体管线上具备共用截止阀、测定用罐、第一压力传感器和压力调整阀，关闭第一管线截止阀及共用截止阀时，利用第一压力传感器测定测定用罐内的气体的压力降低，从而进行流量控制仪器的流量检定，其中，压力调整阀对该压力调整阀的二次侧压力进行反馈控制。

主权项

一种气体流量检定系统，其特征在于，具有：多条工艺气体管线，其将来自工艺气体供给源的气体经由第一管线截止阀、第二管线截止阀和流量控制仪器向工艺腔室供给；及共用气体管线，其与所述工艺气体管线分支连接以将来自共用气体供给源的气体经由所述第二管线截止阀和所述流量控制仪器排出，所述共用气体管线具备共用截止阀、测定用罐、第一压力传感器和压力调整阀，关闭所述第一管线截止阀及所述共用截止阀时，利用所述第一压力传感器测定所述测定用罐内的气体的压力降低，从而进行所述流量控制仪器的流量检定，所述压力调整阀对该压力调整阀的二次侧压力进行反馈控制。