抗下垂制动装置及侧壁加热器扩散炉的超低质量运送系统

摘要

多区域太阳能电池扩散炉具有多个辐射元件（SiC）或/和高强度IR灯加热式加工区域，区域包含挡板区域、升高区域、焙烧区域、均热区域及冷却区域。通过超低质量晶片运送系统来实施将太阳能电池晶片运送穿过炉的操作，太阳能电池晶片，晶片运送系统包括横向隔开、有防护、并且同步驱动的金属带或链，金属带或链承载悬挂在金属带或链之间的金属丝上的非旋转式氧化铝管。晶片位于沿着氧化铝管横向隔开的凸起圆周支座上，减少污染。高强度IR通量对晶片进行快速光辐射调节，使得扩散发生的速度比常规高质量热炉快两倍以上。使用插在运送管中的因科镍护套的纵向侧壁加热器来确保对邻近侧壁的晶片边缘进行均匀加热，加热器包括盘管式加热器。

主权项

一种用于加工太阳能电池晶片的连续输送器扩散炉，所述扩散炉以可操作的组合形式包括：a）多个加热和冷却区域，所述区域是按炉入口到炉出口的顺序来定向的，i）所述区域是按邻接关系来布置的，以便通过所述区域界定连续的纵向加工输送器路径，所述路径定向于大体上水平的平面中，所述区域中的每一个包含隔开的外侧壁，加工体积界定于所述外侧壁之间，所述加工体积沿着大体上平行于所述加工路径平面的水平平面分成区域上半部分和区域下半部分；ii）所述加热区域包含选自IR灯和电阻辐射元件的加热元件，所述加热元件定向成与所述纵向加工输送器路径横切，用以加热所述加工体积；iii）所述横向定向的加热元件布置在所述加热区域的至少一些中，位于所述区域上半部分和所述区域下半部分中的至少一个中；iv）至少一对电阻加热元件，所述电阻加热元件布置在所述区域下半部分或/和上半部分中的至少一个中，所述电阻辐射元件定向成平行于所述纵向加工输送器路径，每一对中的一个布置成与所述外侧壁中的一个相邻；b）低质量输送器系统，用于接收太阳能电池晶片并使太阳能电池晶片沿着所述纵向加工路径从所述炉入口穿过所述区域移动到所述炉出口，所述输送器系统包括：i）多个隔开的耐高温金属丝，所述金属丝定向成与所述纵向加工路径横切，所述金属丝的长度在所述输送器系统的所述侧壁之间界定穿过所述炉区域的有用的晶片运送宽度；ii）直径小、壁薄、非旋转式的耐火管，所述耐火管悬挂在所述金属丝上，用以在通过所述输送器系统将所述晶片运送穿过所述炉区域时对所述晶片提供支撑，并且用以实质上完全防护所述晶片免受从所述金属丝排放出来的金属蒸气；iii）所述耐火管的延伸长度为所述金属丝的所述长度的至少大部分，并且在所述金属丝上定位成仅露出所述金属丝的短的相对侧端；iv）一对隔开的运送部件，一个运送部件布置成与所述金属丝的每一末端 相邻，所述运送部件中的每一个形成连续环，所述连续环穿过从炉入口到所述炉出口的所述纵向加工路径，然后在所述炉区域外的返回路径上回到所述入口；v）所述运送部件中的每一个包含沿着所述运送部件连续环中的每一个均匀地隔开的多个收纳部件，每个所述收纳部件经配置以可移除式保持所述金属丝的所述短的侧端，所述金属丝布置成跨所述运送宽度悬挂在所述运送部件之间；以及c）布置在所述炉区域外的驱动系统，所述驱动系统布置成啮合所述两个运送部件，以随着所述运送部件承载所述多个耐火管以及悬挂在所述收纳部件之间的金属丝实现穿过所述区域的同步移动，在炉操作过程中，在所述耐火管上将所述晶片运送穿过所述区域以对所述晶片进行加工。