发明名称 |
电磁屏蔽方法及制品 |
摘要 |
本发明提供一种电磁屏蔽方法,其包括如下步骤:提供基体;采用真空镀膜法,以硅靶为靶材,以氧气为反应气体,于基体上形成一绝缘层,该绝缘层为硅-氧层;采用真空镀膜法,以钨铜合金靶为靶材,于该绝缘层上形成一导电层,该导电层为钨铜合金层。本发明还提供了经由上述电磁屏蔽方法制得的制品。 |
申请公布号 |
CN102958337A |
申请公布日期 |
2013.03.06 |
申请号 |
CN201110239726.7 |
申请日期 |
2011.08.19 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
张新倍;陈文荣;陈正士;李聪 |
分类号 |
H05K9/00(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
H05K9/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种制品,包括基体,其特征在于:该制品还包括形成于该基体上的一绝缘层及形成于该绝缘层上的导电层,该绝缘层为硅‑氧层,该导电层为钨铜合金层。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |