用于触发双重SCR ESD保护的电源箝位电路和方法

摘要

本发明提供了用于触发双重SCR ESD保护的RC电源箝位电路的电路和方法。在集成电路中，保护焊垫连接到上SCR电路和下SCR电路；它们都连接到连接在正电源和接地电源之间的RC电源箝位电路。本发明公开了ESD保护的结构，其具有邻接第二导电类型的第二阱的第一导电类型的第一阱，形成p-n结的边界，和在电连接到焊垫端的每个阱中的焊垫接触扩散区；紧邻于焊垫接触扩散区且与焊垫接触扩散区电隔离的附加扩散区，上述扩散区、第一和第二阱形成两个SCR器件。在ESD事件中，通过由RC电源箝位电路注入各个阱的电流触发这些SCR器件。

主权项

一种静电释放(ESD)保护结构，包括：第一导电类型的半导体衬底；形成在半导体衬底中的第一导电类型的第一阱；邻接第一阱形成在半导体衬底中的第二导电类型的第二阱；第一和第二阱的交叉形成p‑n结；在第一阱的表面形成的且电连接到接地电源端子的第一导电类型的第一扩散区；在第一阱的表面上形成的第二导电类型的第一焊垫接触区，通过隔离区与第一扩散区隔离并邻近第一扩散区，并电连接到焊垫端子；在第一阱的表面上形成的第二导电类型的第二扩散区，与第二导电类型的第一焊垫接触区隔离并相邻近，并电连接到接地电源端子；在第二阱的表面中形成的第一导电类型的第三扩散区，与第二扩散区电隔离并相邻近，且电连接到正电源端子；在第二阱的表面上形成的第一导电类型的第二焊垫接触区，与第三扩散区电隔离并相邻近，且电连接到焊垫端子；在第二阱的表面上形成的第二导电类型的第四扩散区，并与第二焊垫接触区电隔离和相邻近，第四扩散区电连接到正电源端子；和连接在正电源端子和接地电源端子之间的RC电源箝位电路。