| 发明名称 | 板状体研磨装置及研磨系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种板状体研磨装置及研磨系统，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。 | ||
| 申请公布号 | CN102950538A | 申请公布日期 | 2013.03.06 |
| 申请号 | CN201210295630.7 | 申请日期 | 2012.08.17 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 福田真;中谷嘉孝;山本一义;木村刚;秋山秀;横田稔 |
| 分类号 | B24B37/04(2012.01)I;B24B37/26(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2012.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 高培培;车文 |
| 主权项 | 一种板状体研磨装置，具有：板状体保持单元，保持一边的长度为1000mm以上的板状体；研磨垫，与被所述板状体保持单元保持的所述板状体相对设置，所述研磨垫形成有：多个浆料供给孔，在与所述板状体相对的相对面上形成，向所述研磨垫和所述板状体的抵接部供给浆料；浆料吸引孔，仅在与所述板状体相对的相对面的中央部形成，吸引被供给到所述抵接部的所述浆料。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||