用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置

摘要

本发明涉及一种用于制造薄膜型太阳电池的沈积装置，其制造薄膜型太阳电池时能够防止微粒带来的污染，从而防止太阳电池的性能下降并减少维修费用。;本发明的用于制造薄膜型太阳电池的沈积装置包括：腔室，具有可让被沈积物流入流出的入口及出口；气体供应部，向所述腔室内供给气体；加热组件，配置在所述腔室内；导轨，配置在所述腔室内部；被沈积物固定盘，沿着所述导轨滑行移动；输送部，用于输送所述被沈积物固定盘。