| 摘要 |
本发明藉由运用正狭缝结构与负狭缝结构来取得沿着一离子植入轴线的入射角度量测值。该等正狭缝结构具有：入口开口；出口开口；以及介于其间的狭缝轮廓，用以取得一离子束于一正方向中具有一选定角度范围的一(或多个)部份。该等负狭缝结构具有：入口开口；出口开口；以及介于其间的狭缝轮廓，用以取得该离子束中于一负方向中具有一选定角度范围的一(或多个)部份。一第一射束量测机制会量测该正部份的射束电流，用以取得一正角度射束电流量测值。一第二射束量测机制会量测该负部份的射束电流，用以取得一负角度射束电流量测值。一分析器组件会运用该正角度射束电流量测值与该负角度射束电流量测值来决定一经测得的入射角度。 |
